大学発ベンチャー図鑑
技術分野 ／ 計測・センシング ／ センサ

直径約3mmの水晶球で、ガス中のわずかな水分を測る

直径約3mmの圧電水晶球の表面に弾性表面波を周回させ、感応膜の変化を検出する化学センサ技術。

ボールウェーブ株式会社　東北大学発 ／ 宮城県 仙台市青葉区
公式サイトballwave.jp
研究発の技術 弾性表面波 球状SAWセンサ 化学センサ 微量水分計 ガスクロマトグラフ 半導体製造
実用化の段階
研究実証販売
会社はFalconTraceとSylphを製品として掲載し、JEITA資料は微量水分計の複数販売実績とガスクロマトグラフの納品実績を確認している。
3製品
5提携・顧客
11特許
14出資者

しくみ

解こうとしている課題

半導体・電池製造や産業ガスなどで必要な微量水分・ガス成分の測定を、小型の装置で高速かつ高感度に行うこと。

どう動くか

電極から発生させた表面波を水晶球の赤道に沿って何度も伝搬させ、対象ガスに反応する感応膜を通過させます。ガス吸着による波の速度や減衰の小さな変化を周回ごとに積算して検出するため、小型のセンサで高感度化と高速応答を目指せます。測定対象に合わせて感応膜を変え、水分や混合ガスなどを測定します。約100倍の感度という値は会社・大学側の説明です。

できるようになること

会社・大学の説明では、半導体や二次電池の製造工程における水分管理、現場でのガス分析、食品・発酵工程のモニタリングなどに活用し、品質安定や現場での迅速な測定を支援する。

技術の出自：東北大学 未来科学技術共同研究センターを起点とするボールSAWセンサ研究。JST CREST「ボールSAWセンサを用いた小型・高速・高感度な微量水分計ユニットの事業化」など。 出典1 出典2 出典3 出典4

使われる場面

  • 半導体製造工程の微量水分管理
  • 二次電池製造工程の水分管理
  • 産業ガスの品質管理
  • 食品・飲料の香気や鮮度分析
  • 工場の有害ガス・異臭分析
  • 発酵・醸造工程のモニタリング
  • 環境・宇宙探査向けガス分析
  • 呼気・皮膚ガスを用いた体外診断の研究

優位性の主張

会社の主張
会社は、従来技術と比較して約100倍の高感度と高速応答性を主張している。比較条件の詳細は該当ページに記載なし。 出典
大学の発表
東北大学は、球上の弾性表面波が一定条件で減衰せず周回する原理を応用し、従来の100倍の感度を持つセンサ開発が可能になったと紹介している。 出典
第三者の評価
JEITAは、微量水分計とハンディガスクロマトグラフについて複数の販売・納品実績があり、独占販売契約も締結している点を受賞理由の一つとして挙げた。 出典

製品・サービス

販売中
FalconTraceシリーズ（超微量水分計）

ボールSAWで工業用ガス・天然ガス中の微量水分を測定。機種によりppb水準、秒単位の応答をうたう。 出典

半導体製造装置メーカー、蓄電池・材料メーカー、産業ガスメーカー
販売中
Sylph（超小型ガスクロマトグラフ）

現場に持ち運べるガスクロマトグラフ。混合ガス中の成分を分離・検出し、種類と濃度を分析する。 出典

食品・飲料、製造業、化学・環境分野などのガス分析を行う事業者
研究段階
ボールSAWウイルスセンサ

感応膜に抗体・アプタマー等を用いてウイルスを検出する構想。東北大学・豊田合成と原理検証を含む共同開発を公表。 出典

公表資料では将来的な公共施設・事業者・医療機関等を想定。販売は確認できず。

これまでの歩み 新しい順

2026-01
海外顧客
台湾：オンライン微量水分計が台湾の半導体製造企業から認定された。顧客名は公表情報で確認できず。 出典
2025-11
海外出展
ドイツ：SEMICON Europaに微量水分計と超小型ガスクロマトグラフを出展。 出典
2025-09
海外出展
台湾：SEMICON Taiwanに微量水分計と超小型ガスクロマトグラフを出展。 出典
2024-10
資金調達
金額は非公表。Darwin Venture Management Corporation、シスメックス株式会社 出典
2024-09
海外提携
台湾：TRONIC PURITYと空気中・特殊ガス中の分子汚染物質分析機器などを共同開発する提携を発表。 出典
2023-12
受賞
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ／東北大学「文科省マテリアル先端リサーチインフラ令和5年度「秀でた利用成果」最優秀賞（ボールSAWセンサの社会実装）」 出典
2022-12
共同開発
シスメックス株式会社：呼気・皮膚ガスを用いた次世代体外診断の共同開発に基本合意。 出典
2022-11
受賞
Consumer Technology Association「CES 2023 Innovation Award（Sylph）」 出典
残りの12件を表示
2022-11
販売提携
柳井電機工業株式会社：Sylphの販売代理店契約を締結。 出典
2022-03
受賞
一般社団法人電子情報技術産業協会（JEITA）「第7回 JEITAベンチャー賞」 出典
2022-01
海外提携
台湾、中国、およびアジア太平洋地域の一部：TRUSVAL Technologyと半導体向け微量水分センサの独占販売代理店契約を結び、特殊ガス供給設備を共同開発。 出典
2021-09
共同開発
東北大学：ボールSAWセンサの研究成果を事業化。ウイルスセンサの共同開発も公表。 出典
2021-03
資金調達
ラウンドC。1.81億円。豊田合成株式会社、JA三井リース株式会社、Industrial Technology Investment Corporation 出典
2020-11
資金調達
1億円。豊田合成株式会社 出典
2020-01
助成
新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）「NEDO PCA「ボールSAW微量水分計の半導体産業への展開」採択」 出典
2019-11
助成
宇宙航空研究開発機構（JAXA）「JAXA宇宙探査イノベーションハブ研究提案「多種類の揮発性物質に対する高感度・高精度な可搬型ガスクロマトグラフの開発」採択」 出典
2019-11
共同開発
宇宙航空研究開発機構（JAXA）：宇宙探査向け可搬型ガスクロマトグラフの共同研究を実施。地上向けSylphの開発にもつながった。 出典
2018-11
資金調達
ラウンドB。6億円。東北大学ベンチャーパートナーズ株式会社、リアルテックファンド、大和企業投資株式会社、三菱UFJキャピタル株式会社、SMBCベンチャーキャピタル株式会社 出典
2016-09
資金調達
2.3億円。東北大学ベンチャーパートナーズ株式会社 出典
2014-01
助成
科学技術振興機構（JST）「JST CREST「ボールSAWセンサを用いた小型・高速・高感度な微量水分計ユニットの事業化」採択」 出典

提携先・顧客

共同開発
宇宙航空研究開発機構（JAXA）　宇宙探査向け可搬型ガスクロマトグラフの共同研究を実施。地上向けSylphの開発にもつながった。 出典
販売提携
柳井電機工業株式会社　Sylphの販売代理店契約を締結。 出典
共同開発
シスメックス株式会社　呼気・皮膚ガスを用いた次世代体外診断の共同開発に基本合意。 出典
共同開発
東北大学　ボールSAWセンサの研究成果を事業化。ウイルスセンサの共同開発も公表。 出典
共同開発
豊田合成株式会社　ボールウェーブ・東北大学とウイルス高速センサを共同開発。 出典

特許

11 件 出典（Gビズインフォ）
Gビズインフォに掲載された特許件数。法人番号に紐づく2013〜2022年の収録情報であり、Google Patentsの現行全世界ファミリー総数ではない。Google Patentsで個別例も確認。
主な分野球状弾性表面波素子・センサ、ガス分析・水分計測・信号処理、球体の方位制御、ウイルス検査
共同出願人Ball Semiconductor Inc、アズビル株式会社、凸版印刷株式会社
海外出願True
JP6260918B2 電気信号処理装置（WO2016084917ファミリー）　ボールウェーブ株式会社 ／ 登録（Google Patents表示） 出典
JP7109036B2 Moisture sensor calibration system, calibration method, and calibration program　ボールウェーブ株式会社 ／ 登録（Google Patents表示） 出典
JP6978652B2 球の方位制御装置　ボールウェーブ株式会社 ／ 登録（Google Patents表示） 出典
JP7575810B2 ウィルス検査装置、ウィルス検査システム、ウィルス検査方法、及びウィルス検査プログラム　ボールウェーブ株式会社 ／ 登録（Google Patents表示） 出典
EP3662278B1 System, method and computer program product for gas analysis　Ball Wave Inc ／ 登録・Active（Google Patents表示） 出典
US7647814B2 Environment difference detector　Ball Wave Inc（現権利者表示。原出願人は凸版印刷、アズビル、Ball Semiconductor） ／ Active（Google Patents表示。2026年6月5日満了予定表示） 出典

会社の規模

従業員13名（2026-09-04時点） 出典（Gビズインフォ）
資本金1.85億円（2026-10時点） 出典
大学との関係研究成果ベンチャー
公式サイトballwave.jp

大学との関係

大学の施設
東北大学　本社が東北大学連携ビジネスインキュベータ（T-Biz）に入居。 出典
共同研究
東北大学　東北大学および豊田合成と、ボールSAWウイルスセンサの原理検証に関する共同研究に取り組み、エアロゾル中のウイルス由来タンパク質を検出したと発表。 出典

出資者（公開情報で確認できた14社）

夏目光学株式会社豊田合成株式会社＊シスメックス株式会社JA三井リース株式会社日本戦略投資株式会社UntroD Capital Japan株式会社Industrial Technology Investment CorporationDarwin Venture Management CorporationIMM Investment Corp.IMM Investment Japan株式会社SMBCベンチャーキャピタル株式会社大和企業投資株式会社三菱UFJキャピタル株式会社東北大学ベンチャーパートナーズ株式会社
事業会社（CVCを含む） 4独立系VC 6銀行・金融機関系 3大学系（大学VC・大学） 1

会社や出資者の発表から確認した。出資者の種類は、AIが社名から付けたもの。個人の株主は載せていない。＊は、出典のページで社名を機械的に照合できなかったもの。

調査日：2026-10-03
このページの出典：30件
法人番号：3370001038818
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