半導体でマイクロ波を作り、プラズマなどへ電力を安定して届ける
固体マイクロ波発振器と整合器を組み合わせ、マイクロ波電力をプラズマやランプなどの負荷へ安定して供給する装置技術。大気圧下でプラズマを細く発生させるニードル装置も開発・販売する。
株式会社プラズマアプリケーションズ 静岡県 浜松市中央区大人見町 ／ 2009年設立
研究発の技術 マイクロ波 固体発振器 LDMOS GaN インピーダンス整合 大気圧プラズマ
実用化の段階
研究実証販売
会社沿革にオートチューナとマイクロ波発振装置ユニットの販売実績が記載され、公式サイトでも製品仕様と問い合わせ窓口を掲示している。
5製品
13提携・顧客
44特許
0出資者
しくみ
解こうとしている課題
従来のプラズマ生成では真空装置が必要となる場合があり、設備コストが課題だった。また、負荷インピーダンスが変化するたびに手動で整合する作業は、人手と手間を要する。
どう動くか
発振器はLDMOSまたはGaNのパワー半導体でマイクロ波を発生させ、出力や周波数を制御する。負荷の状態が変わると反射電力が変化するため、自動整合器はそれを監視し、ステッピングモーターでスラグの位置を動かして整合を取る。プラズマニードルは2.45GHz帯のマイクロ波とアルゴンガスを使い、露出させたアンテナ先端付近に大気圧プラズマを発生させる。
できるようになること
大気圧プラズマにより、真空設備を使う方式より簡便な微細加工の選択肢を提供する。自動整合器は負荷の変化に応じて整合を取り、省力化・省人化や複数装置の運転に役立つと会社が説明している。
技術の出自：静岡大学発ベンチャー。静岡大学の電子科学研究科・電子科学研究所に関連する、マイクロ波放電プラズマの生成と応用に関する研究成果を基礎とする。 出典1 出典2 出典3 出典4
使われる場面
- プラズマ生成・表面改質
- 薄膜形成・熱加工
- 微細領域のプラズマ加工・エッチング
- マイクロ波加熱・ファインケミカル
- UV-C照射・殺菌
- 放電ランプ
- マイクロ波回路の研究開発
優位性の主張
製品・サービス
販売中
固体マイクロ波発振器・マイクロ波発振器装置
915MHzまたは2.45GHz帯などの発振器。出力可変・固定型や電源・表示器付きユニットを提供。 出典
大学・研究機関、プラズマ・加熱・ランプ装置を扱う企業
これまでの歩み 新しい順
提携先・顧客
特許
主な分野マイクロ波プラズマニードル、放電ランプ・無電極ランプ、マイクロ波回路・整合、内燃機関用点火装置、紫外線殺菌装置
海外出願True
JP5475902B2／特許第5475902号「大気中マイクロ波プラズマニードル発生装置」 株式会社プラズマアプリケーションズ ／ 登録・Google Patents表示上はActive 出典
JP5230976B2／特許第5230976号「大気中マイクロ波プラズマニードル発生装置」 株式会社プラズマアプリケーションズ ／ 登録・Google Patents表示上は年金不納による失効 出典
WO2015046458A1「放電ランプ装置」 東京計器株式会社、株式会社プラズマアプリケーションズ ／ 国際公開。Google Patents表示上はCeased 出典
WO2016129504A1「内燃機関用点火プラグ」 株式会社デンソー、株式会社プラズマアプリケーションズ ／ 国際公開。Google Patents表示上はCeased 出典
特開2023-112795「紫外線トラップ及びこれを備えた紫外線殺菌装置」 株式会社プラズマアプリケーションズ ／ 公開出願。登録状況は未確認 出典