電子を放つ浮遊プローブで、絶縁壁内のプラズマを測る
電子を放出できる浮遊型プローブを用い、絶縁壁内のプロセスプラズマを絶縁状態のまま測定する装置。
株式会社プラズマ理工学研究所 東海大学発 ／ 神奈川県 厚木市 ／ 2012年設立
研究発の技術 プラズマ計測 浮遊型プローブ プロセスプラズマ 半導体製造装置
実用化の段階
研究実証販売
神奈川県の支援事例で当該法人の工業用プラズマ測定装置の製品開発が記録され、協業先の事業ページが同種の測定装置の販売を案内している。
1製品
3提携・顧客
0特許
0出資者
しくみ
解こうとしている課題
半導体材料、太陽電池用薄膜、ディスプレイ等の製造で使う絶縁壁内プラズマを測定し、状態評価やプロセス制御に役立てる。
どう動くか
プローブからプラズマへ電流を引き込む従来方式とは異なり、電子放出可能なプローブを浮遊状態で動作させて測定する。会社の協業先が公開する説明では、プラズマ量を浮遊状態で測定でき、オプションで電子エネルギー分布も測定可能。絶縁壁内のプラズマや実ガスプラズマも対象とする。優位性は同ページに記載された開発元側の主張。
できるようになること
スパッタ、ドライエッチング、半導体・ディスプレイ製造などで、従来測定が難しい絶縁壁内プラズマの状態把握や性能評価を支援する。
技術の出自：東海大学のプラズマ研究。JSTの「浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発」プロジェクトに関連。 出典1 出典2 出典3
使われる場面
- 半導体製造プラズマの測定・制御
- スパッタ・ドライエッチング等のプロセス評価
- 太陽電池用薄膜・材料プロセス
- フラットパネルディスプレイ製造
優位性の主張
製品・サービス
販売中
Floating Probe Plasma Measuring System（新型工業用プラズマ測定装置）
電子放出可能な浮遊型プローブで、絶縁状態のプロセスプラズマを測定する装置。 出典
半導体・材料プロセス、太陽電池用薄膜、フラットパネルディスプレイ関連の製造企業・研究機関
提携先・顧客
提携
株式会社茅ヶ崎技研 公式サイトにプラズマ技術の販売・支援を掲載し、同社を企業連携先として掲載。 出典
提携
地方独立行政法人神奈川県立産業技術総合研究所（KISTEC） 製品開発室を提供し、測定プローブの改良・性能向上を支援。 出典
特許
公開情報では確認できていない。
会社の規模
大学との関係研究成果ベンチャー